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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:RSK系列,無塵室儲(chǔ)存箱,無塵室用,AIRTECH氣泰克DSLY0505

  • 產(chǎn)品型號(hào):RSK系列
  • 產(chǎn)品廠商:日本AIRTECH艾泰克
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
RSK系列,無塵室儲(chǔ)存箱,無塵室用,AIRTECH氣泰克DSLY0505 RSK系列,無塵室儲(chǔ)存箱,無塵室用,AIRTECH氣泰克DSLY0505 RSK系列,無塵室儲(chǔ)存箱,無塵室用,AIRTECH氣泰克DSLY0505
詳情介紹:

RSK系列,無塵室儲(chǔ)存箱,無塵室用,AIRTECH氣泰克DSLY0505
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レチクルやマスクを補(bǔ)完するシステムです。全自動(dòng)型と手動(dòng)型があります。設(shè)置場(chǎng)所や収納枚數(shù)などにより、設(shè)計(jì)できます。內(nèi)部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス1~100に維持されます。


















製品のポイント


  • 自動(dòng)入手庫型と手動(dòng)型があります。
  • レチクルやマスクの収容枚數(shù)に合わせて設(shè)計(jì)されます。
  • 內(nèi)部は、クリーンユニットで清浄化されます。
  • 清浄度クラスは、ISOクラス3~5(クラス1~100)に維持されます。

規(guī)格?仕様について

形式
RSK-□ □ □ □- □ □
清浄度
レチクル保管部:ISO3(クラス1)
レチクル移動(dòng)部:ISO4(クラス10)
集塵効率
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
集塵要素
メインフィルター:ULPAフィルター
処理風(fēng)量
160m3/min
吹出風(fēng)速
約0.2m/sec ~0.4m/sec
電源
AC200V 3φ 50/60Hz
入出可能ワーク
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
*大保管數(shù)
1036枚
移動(dòng)機(jī)構(gòu)
スカラロボット型4j軸同時(shí)補(bǔ)間サーボシステム
入出庫口
各5ヶ所(同時(shí)入出庫可能)
構(gòu)造
本體:鋼板製焼付塗裝
保管棚板:アルミニウム(アルマイト仕上げ)
保管棚:デルリン樹脂成型品


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