形狀図

構(gòu)造

夾緊型MSXP-C MSXP-C

材質(zhì)、表面處理

	MSXP-C
主體	PEEK（聚醚醚酮）
內(nèi)六角圓柱頭螺栓	PEEK（聚醚醚酮）

PEEK的顏色可能會因批次等而變化。

特點

• 特性

	MSXP-C
低塵	◎
適用于真空環(huán)境	○
低排氣	○
耐熱	○
耐藥性	◎
零背隙	◎
容許誤差調(diào)整	○
電絕緣性	◎
無塵	◎
可使用溫度	-20℃～80℃

◎：特優(yōu)　○：優(yōu)

• 在圓柱材料上開槽、完全一體構(gòu)造的樹脂彈簧聯(lián)軸器。
• 可在FPD生產(chǎn)設備等需要的耐熱、耐藥品性環(huán)境或無塵室中使用。
• 采用物理、化學特性優(yōu)良的PEEK。漏氣量極小。
• 開槽成型的板簧容許有偏心、偏角、軸向間隙。

用途

FPD生產(chǎn)設備/半導體生產(chǎn)設備

PEEK的耐化學藥品性

藥品名稱	PEEK
10％鹽酸	○
10％硫酸	○
50%硫酸	×
10％硝酸	○
50%硝酸	×
50%氫氟酸	×
10％磷酸	○
甲酸	△
10％醋酸	○
檸檬酸	○
鉻酸	○
硼酸	○
甲醇	○
乙二醇	○
氨	○
10％氫氧化鈉	○
10％氫氧化鉀	○
氫氧化鈣	○
硫化氫（氣體）	○
二氧化硫	○
硝酸*	○
硝酸鈉	○
碳酸鈣	○
氯化鈣	○
氯化鎂	○
硫酸鎂	○
硫酸鋅	○
過氧化氫	○

○：可使用　△：可根據(jù)條件使用　×：不可使用
使用試驗片，在室溫（23℃）下測試后得到的數(shù)據(jù)。
耐藥品性會根據(jù)使用條件而變化。請務必事先在與實際情況相同的使用條件下進行試驗。

排氣的分析

單位 : （v/v ppm）

成分		含量
無機氣體	氫	500以下
	一氧化碳	500以下
	二氧化碳	500以下
有機氣體	甲烷	5以下
	乙烷	5以下
	乙烯	5以下
	丙烷	5以下
	乙炔	5以下
	i-丁烷	5以下
	n-丁烷	5以下
	丙烯	5以下

無機氣體、有機氣體均在定量下限以下，無法檢測。

• 測量方法
  無機氣體----氣相色譜法（TCD）
  有機氣體----氣相色譜法（FID）
• 測量條件
  加熱溫度----100℃

型號列表

MSXP-25C

• MSXP-25C-6-8
 
• MSXP-25C-6-10
 
• MSXP-25C-8-8
 
• MSXP-25C-8-10
 
• MSXP-25C-10-10

MSXP-30C

• MSXP-30C-8-8
 
• MSXP-30C-8-10
 
• MSXP-30C-10-12
 
• MSXP-30C-12-12

MSXP-36C

• MSXP-36C-10-14
 
• MSXP-36C-12-14
 
• MSXP-36C-14-15
 
• MSXP-36C-15-15