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產品詳情
  • 產品名稱:MA-1400,實驗用曝光裝置,研究用曝光裝置,DNK大日本科研DSLY0505

  • 產品型號:MA-1400
  • 產品廠商:日本DNK大日本科研
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簡單介紹:
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詳情介紹:
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簡練設計的手動式整面單次曝光裝置。

特長:

對應玻璃、Wafer、膠片等基材的實驗研究用手動整面單次曝光機。也適合小批量生產。
可選擇接觸曝光(軟接觸、硬接觸)和近接曝光。
對應*大尺寸為500mm×500mm的基板。根據(jù)用途和基板尺寸,配置有*佳組合的光學系統(tǒng)。

其中包括:超高壓水銀燈(500W?1kW?2kW?3.5kW)、各種光學鏡、特殊鏡頭、聚光鏡等。

実験?研究用露光裝置
主要規(guī)格

  MA-1200 MA-1400
基板尺寸 Max 200 x 200mm
?4" ~ ?6"
Max 400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W1240 x D1100 x H1725 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
本體重量 400kg 400kg(包含無塵機房)
光源重量 250kg
選購項 無塵機房、背面對位、硬接觸(真空密著式)、自動對位、對應破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽



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